オゾン殺菌装置は一般にオゾンを生成するのに用いられる。オゾン生成は高圧放電，紫外線照射，電解質の3種類がある。オゾンを生成するための高圧放電は、ある周波数の高周波電流を使用して高電圧のコロナ電場を生成することであり、その結果、電場中またはその周辺の酸素分子は電気化学的に反応してオゾンを生成する。オゾンを生成するこの方法は、しばしば高い電圧および電流を必要とする。その大きさ、高エネルギー消費と外部支援の必要性のために、それは現在市場から基本的に撤退しました。

オゾンは原料として純水を用いた低圧電解により製造される。低電圧の4 V以内では、純水中の酸素原子が分解されて高電位の酸素原子に再結合し、1秒当たり0.8 ppm以上の出力が得られる。スーパー酸素水の濃度は，全プロセスにおいて有害物質を含まないが，現在では国内の技術的リーディングポジションでのオゾン・オゾン製造技術の低圧オゾン消毒機である。

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